文／唐煜
编辑／赵艳秋
在光刻机领域一家独大的荷兰光刻机巨头ASML，交出了一份不错的2020年成绩单。
财报披露，ASML2020年全年净销售额140亿欧元，毛利率为48.6%，净利润达到36亿欧元。全球光刻机主要玩家有ASML、尼康和佳能三家，他们占到了全球市场90%。ASML由于技术领先，一家垄断了第五代光刻机EUV光刻机，这类光刻机用于制造7nm以下先进制程的芯片。
能够高效做出7nm、5nm先进制程芯片的EUV光刻机，撑起了ASML业绩的半壁江山。2020年ASML对外销售了31台EUV光刻机，带来了45亿欧元（折合352.52亿元）的收入，占全年销售额的32.14%。每台折合11.37亿元的EUV是一个庞然巨物，媒体经常引用的一组数据是，“单台设备超过十万个零件，软管加起来就有两公里长。这么一台庞大的设备，重量足足有180吨，单次发货需要动用40个货柜、20辆卡车以及3架货机”。
ASML还宣布，2020年公司已经出售了100套EUV系统。“市场对EUV光刻机的需求非常强劲，现在我们已经有62亿欧元的订单额了。”ASML CFO Roger Dassen在财报会上表示。
中芯国际曾花了1.2亿美元向ASML订购了中国首台EUV光刻机，足足等了三年，但在美国出口管制的影响下，没能迎娶进门。更糟糕的是，中芯国际在2020年12月被被美国商务部工业和安全局（BIS）添加到实体清单中。对于10nm及以下技术节点（包括EUV）的产品或技术，采用了美国技术的供应商，须获得美国商务部的出口许可才能向中芯国际供应。
购买不了最先进的EUV光刻机，中国只能从ASML购买DUV、ArFi、ArFi dry等光刻机。数据显示，2020年ASML累计交付258台光刻机系统，前三大客户区是：中国台湾93台，占比36%；韩国79台，占比31%；中国大陆46台，占比18%。中国大陆的销售额从2019年的12%增长至2020年的18%。
“我们看到这种趋势一直在上升，这与中国大陆大量晶圆厂投资有关。我们预计2021年中国业务将继续增长，但主要在存储领域，3D NAND和DRAM是最大的推动力，预计会增长12％。最重要的是，逻辑代工领域还有很大的发展空间。”Roger Dassen说。
值得注意的是，ASML在第四季度交付了第一台YieldStar 385系统。YieldStar 385具备最新的量测技术，可提高量测速度和准确度，以满足3nm制程的要求。ASML并没有透露谁是这位头号客户。
ASML预计2021年一季度收入在39亿-41亿欧元之间。Roger Dassen说，在Logic方面，人工智能、5G、高性能计算等先进制程以及物联网、自动驾驶和汽车工业等成熟节点都有很大需求，2021年预计这块会增长10%；在Memory方面，得益于数据中心和消费电子设备的需求，去年DARM芯片在2020年已经有部分增长，他们观察这样的势头将持续到2021年，预计将增长20%。此外，对EUV设备的维护和升级的收入也将在新的一年有增长。
“综合来看，新的一年ASML可以再次实现两位数的增长。如果不受到地缘政治和出口管制的影响，相信增长潜力会比我们分享的数字更可观。”Roger Dassen说。
