原标题:华海清科12英寸CMP设备进入北京燕东微电子
【TechWeb】2月1日消息,近日华海清科12英寸化学机械抛光(CMP)设备顺利出货,进入北京燕东微电子科技有限公司,这也是华海清科布局集成电路装备国产化进程的持续突破。
据悉华海清科股份有限公司是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商。主要从事化学机械抛光(CMP)、研磨等设备和配套耗材的研发、生产、销售,以及晶圆再生代工服务。
核心团队成员来自海内外专业人才,产品可广泛应用于极大规模集成电路晶圆制造、封装、微机电系统制造、硅材料制造等领域。